制样难点:特别软,极易造成划痕;特别薄,极容易磨过头。
客户目标:腐蚀后,晶界清晰可见。
0.1mm厚铜箔用腊粘贴后 磨好的样品
纯铜箔 腐蚀后 200X
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固定:
* 标准样块于烘箱加热70度后取出,将热熔蜡棒均匀涂抹于标准样块上,铜箔放置,待样品冷却后即可牢牢固定。
制样:
Smoothneer-6金相自动磨抛一体机 PCX多孔氯丁橡胶抛光布
OS001-JP氧化铝纳米悬浮研磨抛光液 0.05μm 无划痕样品
磨抛步骤 |
精磨 |
精磨 |
金刚石中抛 |
金刚石精抛 |
氧化物终抛 |
|
1 |
表面 |
|||||
2 |
磨粒粒度 |
1200# |
4000# |
3μm |
1μm |
0.05μm |
3 |
抛光/润滑液 |
水 |
水 |
|||
4 |
压力 |
15N |
15N |
15N |
10N |
10N |
5 | 上转速 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 |
6 |
下转速 |
300 |
300 |
150 |
150 |
150 |
7 |
时间(秒) |
120 |
120 |
180 |
120 |
240 |
以上推荐参数取自:Smoothneer-6金相自动磨抛一体机 上样品制备方法。
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