制样中的要点:
与其它金属比,钛的导热率相对较低,所以切割试样时必须采用水冷,以防止局部过热。此外,还应减小切割片的切割速率和进给速率。材料有软硬之分,除了碳化硅切割片外,也可以采用粘结强度相对较弱的树脂金刚石切割片进行切割。
硬模冷镶嵌 磨抛好的样品
片式电容0402 7R 100X 片式电容0402 COG 100X
片式电容0603 7R 50X 片式电容0603 7R 100X
片式电容0603 COG 50X 片式电容0805 COG 50X
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针对片式电容体积小,对特定的观测面不好掌握,容易磨过头的情况,我们借助了Smoothneer-6的定量磨削功能,该功能可以对样品的磨削去除量精确50µm~5000µm的控制。
Smoothneer-6金相自动磨抛一体机 磨削量控制界面
以下是制样方法:
镶嵌:
MC003免真空清透冷镶套装 镶嵌好的样品
磨抛:
磨抛步骤 |
粗磨 |
精磨 |
金刚石粗抛 |
金刚石精抛 |
金刚石终抛/氧化物抛光 |
|
1 |
表面 |
SiC砂纸 |
SiC砂纸 |
PCY羊毛 |
PCV红短绒 |
PCX氯丁橡胶 |
2 |
磨粒粒度 |
400# |
800#、1200#、4000# |
3μm |
1μm |
0.05μm |
3 |
抛光/润滑液 |
水 |
水 |
DS001高性能多晶金刚石悬浮液 |
DS001高性能多晶金刚石悬浮液 |
OS001-JP氧化铝0.05μm精抛液 |
4 |
压力 |
30N |
25N |
25N |
20N |
15N |
5 |
转速 |
300 |
300 |
150 |
150 |
150 |
6 |
时间 |
1 |
2 |
3~5 |
2~3 |
2~5 |
以上推荐参数取自:自动磨抛机Smoothneer-6 上Ф250 mm 工作盘的Ф30 mm 的铜及铜合金样品的制备方法。
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