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2019届平面计量国际研讨会在上海举行 日期:2019.11.06
         近日,2019届平面计量国际研讨会在上海举行。会议由上海理工大学主办,中国工程院信息与电子工程学部、中国计量科学研究院、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、中国测试技术研究院、苏州慧利仪器有限责任公司联合主办。会议由中国工程院李同保院士主持,江苏计量院长度所平面度项目负责人杨慧敏参加了此次会议。
中国工程院院士庄松林、李同保,中国工程院外籍院士顾敏等5位院士,共同担任本次研讨会的会议主席。庄松林致开幕辞,来自国内平面度测量领域的顶尖专家长春光机所副所长张学军、中国测试技术研究院副所长冉庆,上海理工大学的王浩宇博士、万新军博士,德国的联邦物理技术研究所主任Gerd Ehret、英国南安普顿大学教授John Mcbride、德国斯图加特大学主任Pedrini Giancarlo等平面度专家分别在研讨会上发表了专题报告。
报告内容涉及超高精度平面和平板面形波前干涉检测技术研究、大口径平面平晶的绝对检测方法比对、干涉仪在半导体单晶硅片检测上的应用,光学和光波面平面度的溯源计量,移相平面等厚干涉仪测量不确定度分析,在会议上,德国PTB平面度实验室还公布了2018年平面度参数国际比对数据和结果。
本次国际研讨会起点高,专业性强,聚焦平面度专业计量技术领域最新发展、热点话题、关键挑战等问题,深入研讨了平面度测量和高精度平面制造加工的难点和发展方向,有效推动计量测试技术发展,促进了行业技术交流与合作,对江苏计量院平面度项目建设具有指向性和针对性的指导意义。